海立姆泄漏检测系统为希立旗下气密性检测仪知名品牌-希立仪器总部(深圳)


氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector),用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪,实现漏点检测,测量响应快,易于标定

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氦质谱检漏仪工作原理

利用真空排气引起的内外压差,通过感应到的流入工件或从工件流出的氦气来检测泄漏量。

使用氦气作为检漏介质原因

  • 气体本身无害,且没有危险

  • 分子小,易从泄漏部位进入

  • 空气中的含量仅为约5 ppm,因此检测错误的可能性极低(空气中含量约0.007%)

氦质谱检漏仪工作原理


氦质谱检漏仪检测方法

真空喷氦法(喷雾法)

真空喷氦法(喷雾法)

  • 将被测工件内部抽真空,从外部喷射氦气,检 测从泄漏点进入的氦气

  • 用于焊接管道、柔性管、密封接头等的泄漏试验

真空氦罩法

 真空氦罩法

  • 将待测工件放入充满氦气的塑料袋后抽真空,检测从泄漏点进入的氦气

  • 用于质量流量控制器等的泄漏试验

真空容器法(真空钟罩法)

真空容器法(真空钟罩法)

  • 将已充满氦气的工件放入真空钟罩容器或真空容器内,抽真空后。

  • 用于灭火器、安全气囊等的泄漏试验

沉浸法(钢瓶法)

沉浸法(钢瓶法)

  • 先用钢瓶装置将压入氦气被测的工件放入真空容器内,检测出因真空差压而流出的氦气。

  • 用于气密小型量产零部件的泄漏试验

吸入法(吸枪法))

吸入法(吸枪法)

  • 因强度或其他原因无法做真空排气的工件,可以对工件内部加压,压入氦气(或者氦气与其他气体的混合气体),用探针吸入从泄漏点流出的氦气来进行检测。

  • 用于压缩机、热交换器、冷凝器等的泄漏试验。

并列的泄漏试验

并列的泄漏试验

  • 通常用于单容检漏仪无法进行真空排气的容积较大的腔体、大型真空设备的泄漏检测。使用这种测试方法需要安装干泵、涡轮分子泵等真空泵机组。

  • 用于真空蒸镀装置、吸收式冷冻机、真空炉等的维护。


氦质谱检漏仪采用270度偏转方式分析管

分析管偏向角(90°、180°、270°)的不同决定了本底恢复的性能,同时实现高灵敏、高精度的检测。

本底高速恢复,卓越的背景恢复性能

本氦质谱检漏仪采用独有的分析管270度偏转方式,能分离、去除干扰源,不受氦以外气体的影响,即使吸入了大量氦,本底也能快速恢复。

模拟制造10-5Pa·m3/s命令的泄漏,喷氦五分钟测定直至1X10-11Pa·m3/s的本底为止,需要花多长时间恢复?测试结果为: 0分56秒


测试端口氦排气速度3L/s(50 Pa以下),实现高速测定时间稳定性

  • 氦排气速度较高,有助于本低的快速稳定及快速感应

  • 在生产线中有助于缩短节拍时间

搭载非接触型构造的干式真空泵

  • 搭载无油/无尘/三年免维护的泵

  • 微尘耐性高、本体小,最适合无尘室

  • 无需更换油旋转真空泵的油,可防止漏油和排气烟雾应

并列的泄漏试验案例

本文源于深圳市希立仪器设备有限公司(www.seals-ins.com),希立仪器主营直压\差压\流量型气密性检测仪、防水测试设备,系统性为客户解决气密性检测设备、IP防水检测仪,气密性检漏问题,具有自主知识产权和持续创新能力,售后服务保障能力的高科技公司。